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真空部件:挡板设计原则

* 来源: * 作者: * 发表时间: 2019-08-26 0:17:42 * 浏览: 21
1必须至少有〜光学屏蔽,即至少一个光束被阻挡。 2尽可能地存在大的流导值。 3易于处理。挡板各部分之间的温差小,制冷剂消耗量小。 4超高真空挡板应能承受高温烘烤。扩大挡板的直径可以减小挡板对泵的有效泵送速度的影响。扩展的挡板传输概率如图7-7所示。