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油扩散泵真空系统污染与防治

* 来源: * 作者: * 发表时间: 2019-07-02 13:33:19 * 浏览: 2
油扩散泵真空系统使用各种z *真空系统,真空范围为1.3倍,10-3 Pa至1.3小时,10-5 Pa。各种类型的真空装置由油扩散泵真空组成系统长期使用后,常见的故障是真空不能抽真空,或真空无法吸取原有的极限真空度。需要仔细分析真空不能被抽空的原因,这可能是由于可移动密封件的松动,焊接泄漏,诸如真空泵或真空阀之类的部件的损坏。另外,真空室壁内的油蒸气污染,真空过程中各种污染物的污染也可能是主要原因。预防方法是:1定期清洁真空室,2定期清洁油封机械真空泵和油金属扩散泵。当清洁真空室时,必须在打开真空室之前关闭油扩散泵和真空室之间的真空阀,以防止污染物落入扩散泵。真空室内的颗粒污染物可以用纱布或丝布擦去。用细砂纸轻轻擦去表面锈和氧化层。表面油用清洁的汽油,酒精,丙酮或甲醇擦洗。在z *之后,用丝绸布擦拭表面,直到看不到灰色标记。对于油封机械泵,拆卸泵后,可按如下方式清洗:1首先用废汽油清洗,然后用汽油清洗,然后用z *后用航空汽油清洗。 2用棉布或丝布和少量甲醇或丙酮逐一擦拭部件表面。不要使用棉纱来防止棉线残留在零件表面。 3如果有生锈或毛刺,请用细石或金相砂纸轻轻擦拭,注意不要损坏零件表面。 4应彻底清除油路通孔,油槽和气路内的污物,并用压缩空气吹干油路。不要留下汽油,甲醇,丙酮等残留物进行清洁。 5清洁后,用丝布擦拭部件,用热风擦干,然后放入存放柜中,以免灰尘进入。为了清洁油封机械泵而没有明显的故障,通常不需要拆卸泵,只需要从排油孔中释放旧油和污垢。然后,从进气口注入新油,用手慢慢转动泵几圈,然后释放油。这样,重复一次或两次,然后在z *后注入新油。要清洁金属油扩散泵,请按照以下步骤操作:1取出泵芯并拆卸。用于清洁净棉纱的所有部分的泵油。 2用棉布或丝布擦去泵内壁上的泵油。 3用酒精,丙酮或加热至60°C~70°C的氢氧化钠水溶液直接清洁泵的内壁表面和泵芯.4用吹风机的热风干燥。