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真空装置:离子源的设计

* 来源: * 作者: * 发表时间: 2019-06-29 0:13:26 * 浏览: 0
(1)离子源离子萃取计算Kaufman通过惰性气体氩气与工作介质源分离,压力为10-1Pamdash,10-2Pa。当阴极灯丝被加热到白炽状态以发射电子时,向阳极施加几十伏的正电压以获得氩气的辉光放电。为了从放电产生的等离子体中提取准直且均匀的离子束,需要离子。取出系统。为了蚀刻非导体材料而不在样品表面积累正电荷,应加入电子发射热线中和剂以将氩离子束中和成氩原子束以蚀刻样品表面。因此,离子源由放电单元,离子提取系统,中和器和接地屏蔽构成。根据Fum的扰动等离子体球探针理论,当Mansk校正形成稳定鞘的Bom数据时,原始电子不可忽略,并假设放电室产生的多电荷离子可以被忽略并到达屏蔽门开放区域。当单电荷离子被提取成束时,加速极出口处的束密度JB通过下式计算:(2)离子源的结构设计。空心阴极离子源的结构原理如图10-44所示。它是200mm,放电室的外壳是非磁性钢瓶。放电室底板,阴极靴和屏蔽靴由具有高磁导率的低碳钢材料制成。将两端固定有低碳钢衬套的AlNiCo 5永磁体拧到排放底板和筛网上,形成从阴极靴到筛网靴的发散磁场。非磁性不锈钢环形腔通过与底板同轴的压环固定在放电室底部,并在外侧表面均匀地打开一些小导流孔,并在附近开一个较大的孔。底板,安装在底板外面。气体导管紧密配合,以允许活性介质进入分流器,然后径向均匀地注入排出室。空心阴极组件通过螺钉连接到阴极靴,并位于放电室底板的中心。它由多硼化物电子发射器(即阴极),接触极,提取极和电子分配挡板组成。引线通过三个带屏蔽帽的绝缘体固定在支架上。电子分配挡板通过两个带屏蔽盖的绝缘体连接到引出柱。两个精确对准的多孔钼板栅格作为离子提取系统平行安装在放电室的前端。可变孔径屏幕与放电室处于相同的电位,并且等孔加速杆通过四个屏蔽绝缘体固定到屏障靴,并且两个栅格板之间的间隙保持在约1.4mm。 2等离子桥中和器设计。为了蚀刻非导体材料的工件,并考虑到氟基和氯基活性离子对反应离子束中的热线中和剂的强腐蚀作用,有必要设计一种等离子桥中和器。显示-45。它由壳体,线阴极,阳极筒和提取杆组成。外壳是一个不锈钢圆柱体,通过一个带有小孔的不锈钢圆盘引出,并用双屏蔽陶瓷固定。中和器的整体结构是可拆卸的。