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回流氦纯泄漏检测仪

* 来源: * 作者: * 发表时间: 2019-06-17 0:41:50 * 浏览: 0
氦质谱检漏仪的一个新发展是回流检漏仪的出现,如图13-33所示。该仪器的优点在于,由于其质谱室位于高真空侧,被检测部分连接到前级位置,因此检测到的部件可在低真空度下进行泄漏测试,并且检查减少。将碎片中的污垢污染到质谱仪室。该仪器基于以下原理:油扩散泵的喷嘴压力比与气体质量有关。扩散泵的各级的压力比(即压缩比)可以表示如下:从上式可以看出,气体质量越小,压力比越小。多级扩散泵的压力比可以如下:对于焓为102,对于空气中的其他气体组分为10 ^ 4至10 ^ 6。当质谱仪管连接到泵的总体并且测试件连接到泵的前级时,在氦气通过泄漏孔进入前级管线之后,一些氦气流回到光谱仪管并给出漏气信号。这种泄漏检测器的灵敏度可估计为10 ^ -5Pa.L / s~10 ^ -8 Pamiddot,L / s。