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CVD装置的典型例子:低温CVD装置

* 来源: * 作者: * 发表时间: 2019-06-09 1:54:55 * 浏览: 2
低温CVD装置的示意图如图10-26所示。在500℃下形成绝缘膜,用于集成电路中的铝布线表面保护膜或中间绝缘膜。